Бодров, Е. Э. Основы технологии электронной компонентной базы [Текст] : учебное пособие / Е.Э. Бодров. - Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. - 204 с. - ISBN 978-5-9729-0846-2 : Б. ц.
Рубрики: Радиоэлектроника. Автоматика. Связь Аннотация: Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники такие как производство полупроводниковых пластин их легирование нанесение тонких пленок фотолитография травление металлизация контроль процесса производства. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Перейти: https://znanium.com/catalog/document/?pid=1902462&id=417174 Свободных экз. нет |